iLinacS系列电子直线加速器，采用S波段微波技术，采用模块化设计，主要用于重工业、铸造、复杂零部件、安检等领域。
| iLinacS2-200 | iLinacS4-500 | iLinacS6-1100 | iLinacS9-3000 | |
| 射线类型 | 脉冲射线 | 脉冲射线 | 脉冲射线 | 脉冲射线 |
| 电子束能量 | 2MeV | 4MeV | 6MeV | 9MeV |
| 剂量率 | 200cGy/min@1m | 500cGy/min@1m | 1100cGy/min@1m | 3000cGy/min@1m |
| 焦点尺寸 | 2.0mm | 2.0mm | 2.0mm | 2.0mm |
| 微波功率 | 2.6MW | 2.6MW | 2.6MW | 3.1MW |
| 射线脉冲宽度 | 5us | 5us | 5us | 5us |
| 脉冲频率 | 10Hz~260Hz | 10Hz~260Hz | 10Hz~260Hz | 10Hz~260Hz |
